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超高真空变温扫描隧道显微镜采购项目采购需求公示

2020-09-25

（一）项目基本信息

项目名称	超高真空变温扫描隧道显微镜采购项目
采购预算（元）	5,840,000
是否接受进口设备	是

（二）货物清单

序号	设备名称	数量	单位
1	超高真空变温扫描隧道显微镜	1	套

（三）商务需求

序号	商务需求
1	交货期的要求：签订合同后330天内
2	质保期： 1年
3	付款方式：合同生效并收到相应发票后支付合同总额的30%作为进度款；设备到达指定安装现场且安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的65%；余款5%待质保期满12个月后且无质量问题并经学校确认后支付。

（四）技术需求

序号	设备名称	技术参数或功能要求
1	超高真空变温扫描隧道显微镜	1. 扫描隧道显微镜：
		▲1.1可实现50K - 500K范围内的样品温度调节，其中50K通过LHe连续流制冷实现，500K通过辐射加热实现
		1.2断开制冷模块，样品台可加热至650℃
		1.3. 具有扫描隧道显微镜功能，隧穿电流范围：< 1pA 至 330 nA
		★1.4.最大扫描范围(x/y.z)不小于：12 μm x 12 μm x 1.5 μm
		★1.5.三维独立粗定位马达，移动范围(x/y/z)不小于: 5 mm x 10 mm x 10 mm
		▲1.6.扫描台包含四个接触电极，可用于输运实验等功能
		▲1.7.扫描台采用样品面朝下设计，以利于原位蒸镀及光学实验
		▲1.8.配置针尖预处理装置，可通过电子束加热处理针尖
		▲1.9.配置长焦光学显微镜，在样品表面可实现分辨率不小于10μm
		2. 超高真空系统
		▲2.1.超高真空系统由STM腔、H-cleaning腔、沉积腔、样品加热腔、快速进样腔组成
		2.2. STM腔配置满足以下要求：
		2.2.1.配置离子泵（不小于150 l/s）,钛升华泵，离子规
		2.2.2.包含不少于12个样品/针尖存储位
		2.2.3.包含必要的法兰口，可用于光学通路、蒸发源或进气
		2.3.H-cleaning 腔满足以下要求：
		2.3.1.配置离子泵（抽速不小于300 l/s）,钛升华泵，涡轮分子泵（抽速度不小于260 l/s）和前级无油机械泵
		2.3.2.配置加热器，可辐射或直接通电流加热样品，辐射加热可达1100℃
		2.3.3.配置氢原子束流源，包含全套电源和控温系统
		2.4. 快速进样腔满足以下要求：
		2.4.1.配置涡轮分子泵（抽速不小于67 l/s）
		2.4.2.配置宽量程规（1e-8 mbar至atm）
		2.4.3.使用磁力传输臂，一次可进样不少于5个旗型样品托
		2.5.样品加热腔满足以下要求：
		2.5.1. 配置离子泵（抽速不小于75 l/s）和离子规
		2.5.2.配置加热器，可辐射或直接通电流加热样品，辐射加热可达1100℃
		2.6.沉积腔满足以下要求：
		2.6.1.沉积腔为内径不小于250 mm的圆柱形腔体
		2.6.2.沉积腔包含不小于4个蒸发源法兰口，和其他必要的法兰接口
		2.6.3. 沉积腔配置离子泵（抽速不小于300 l/s）、钛升华泵、涡轮分子泵（抽速不小于260 l/s）及前级无油机械泵
		2.6.4. 沉积腔配置四维操纵台
		2.6.4.1. X/Y移动范围不小于±12.5 mm，z方向移动距离满足实验需求，可±180°转动
		▲2.6.4.2. 包含辐射高温加热模块，可辐射加热样品至1400℃
		2.6.4.3.可直接通电流加热样品
		2.7.包含程序控制的全套烘烤系统

（五）公示期限

2020年9月25日至2020年10月9日

对公示内容有异议的，请在公示期内以书面形式将意见反馈至采购人。

联系人:吴老师

联系电话：0755-88015306

质疑投诉邮箱：zhaobzyts@sustech.edu.cn