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高通量薄膜制备系统项目采购需求公示
2021-01-12(一)项目基本信息
项目名称 |
高通量薄膜制备系统 |
采购预算(元) |
3985万 |
是否接受进口设备 |
否 |
(二)货物清单
序号 |
设备名称 |
数量 |
单位 |
1 |
高通量离子束溅射薄膜制备系统 |
1 |
套 |
2 |
高通量热蒸发薄膜制备系统 |
2 |
套 |
3 |
高通量磁控溅射薄膜制备系统 |
1 |
套 |
4 |
高通量等离子体化学气相沉积薄膜制备系统 |
1 |
套 |
(三)商务需求
序号 |
商务需求 |
1 |
交货期的要求:签订合同后【300】天内,具体时间根据学校要求提前天【10】通知送货。 |
2 |
质保期: 1年 |
3 |
付款方式:合同生效并收到相应发票后支付合同总额的30%作为进度款;每套设备到达指定安装现场且安装、调试验收合格并提供该套设备全额发票后支付该设备价款的65%;余款5%待质保期满且无质量问题并经学校确认后支付。 |
(四)技术需求
序号 |
设备名称 |
技术参数或功能要求 |
数量 |
单位 |
备注 |
1
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高通量离子束溅射薄膜制备系统 |
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1 |
套 |
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1 |
套 |
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1 |
套 |
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1 |
套 |
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1.16 ▲换靶腔使用真空全自动机械手,在真空环境下实现对靶材的取送与转运。 |
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1 |
套 |
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1.19 ▲储靶腔的靶材的升降和旋转自动化系统。 |
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1 |
套 |
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1.21 连续掩膜满足 10E-8 torr 真空设计要求。 |
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1 |
套 |
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1.28 报警 :失水, 失气, 过压, 过流 ,温度。 |
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2
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高通量热蒸发薄膜制备系统 |
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2 |
套 |
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2 |
套 |
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2 |
套 |
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2 |
套 |
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2 |
套 |
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2 |
套 |
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2 |
套 |
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2 |
套 |
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3 |
高通量磁控溅射薄膜制备系统 |
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1 |
套 |
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1 |
套 |
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1 |
套 |
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1 |
套 |
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1 |
套 |
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1 |
套 |
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1 |
套 |
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5 |
套 |
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4 |
高通量等离子体化学气相沉积薄膜制备系统 |
4.1 工艺腔基础真空度优于5E-7 Torr |
1 |
套 |
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1 |
套 |
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1 |
套 |
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1 |
套 |
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1 |
套 |
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1 |
套 |
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1 |
套 |
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(五)公示期限
2021年1月12日至2021年1月19日
对公示内容有异议,认为技术参数含有倾向、限制或者排斥潜在投标供应商等有违公平竞争的,请在公示期内以书面形式将意见反馈至采购人。针对同一采购程序环节的质疑须在法定质疑期内一次性提出。
采购需求不等同于正式发布的采购文件,重大项目需求公示仅接受对采购需求的质疑,不受理项目咨询。
质疑投诉邮箱:zhaobzyts@sustech.edu.cn