5 磁控溅射系统

*4台Mag-keeper溅射靶枪，其中有一台是强磁靶枪，靶材尺寸为3英寸。 

靶枪水冷，冷却水和磁钢不直接接触。 

靶枪到基片距离可调，调节范围不小于105-150mm。 

靶头具有折弯功能，可以调节靶头与基片之间的溅射角度。 

气动紧凑式圆顶溅射源挡板，可有效的消除靶枪间交叉污染影响。 

*靶枪最低工作压强≤0.7mTorr。 

非磁性靶材厚度最厚可做0.375英寸。 

靶材安装不需要固定压环，暗区屏蔽装置高度低于靶材表面，减少对辉光区域的束缚，并降低靶材之外材料被同时溅射出来的几率。 

靶头内部采用全金属密封，满足超高真空应用。 

所有的电源都会配套提供安装支架和所需线缆。 

1台功率为1000W的KJLC直流电源，2台300W的KJLC射频电源，1套电源切换器。

5 磁控溅射系统

*4台溅射靶枪，其中有一台是强磁靶枪，靶材尺寸为3英寸。

靶枪水冷，冷却水和磁钢不直接接触。

靶枪到基片距离可调，调节范围不小于105-150mm。

靶头具有折弯功能，可以调节靶头与基片之间的溅射角度。

气动紧凑式圆顶溅射源挡板，可有效的消除靶枪间交叉污染影响。

*靶枪最低工作压强≤0.7mTorr。

非磁性靶材厚度最厚可做0.375英寸。

靶材安装不需要固定压环，暗区屏蔽装置高度低于靶材表面，减少对辉光区域的束缚，并降低靶材之外材料被同时溅射出来的几率。

靶头内部采用全金属密封，满足超高真空应用。

所有的电源都会配套提供安装支架和所需线缆。

1台功率为1000W的直流电源，可通过内部设置满足最大功率输出分别为 500W ,1000W,1500W 最高输出电压为1000V。

2台300W的射频电源，1套电源切换器。