项目名称

宽波数高分辨光谱仪等设备采购

采购预算（元）

5,600,000.00

是否接受进口设备

接受进口

序号

设备名称

数量

单位

1

宽波数高分辨光谱仪（核心货物）

1

套

2

高速测温光谱仪

1

套

3

窄线宽激光器

1

套

4

光路系统

1

套

序号

商务需求

1

交货期的要求：合同签订后且免税说明办理完成150天内

2

质保期：壹年

3

付款方式：合同生效并收到相应发票后支付合同总额的30％作为进度款；设备到达指定安装现场且安装、调试合格并提供全额发票后支付合同总额的65％；余款5％待质保期满且无质量问题并经学校确认后支付。

序号

设备名称

技术参数或功能要求

1

宽波数高分辨光谱仪（核心货物）

1.1激光器

1. 532nm激发波长，激光器功率不低于100 mW。

1. 785nm激发波长，激光器功率不低于100 mW。

1. 各波长均使用两片Edge瑞利滤光片和一片用于去除等离子线的干涉滤光片，仪器阻挡激光瑞利散射水平好于1014。检验标准：使用表面抛光的单晶硅做样品，任意激发，同时观测激光线和硅的特征峰（520 cm-1），位于0 cm-1的激光线强度不得大于硅的520cm-1 强度的3倍，X50或X100倍物镜，狭缝大小为正常实验状态。

1. ▲不同激发波长采用独立的，按波长独立优化的自由空间激光入射光路，以保证每个波长均有最优的通光效率，避免互相影响。

1. 切换波长时，激光光路采用计算机控制全自动切换。

1. ★要求各个波长均配有激光扩束器，使激光光斑尺寸连续可调，并能连续改变到样品上的激光功率密度，以方便信号弱且怕烧样品的检测。

1. 使用激光等离子滤光片（干涉滤光片），在全谱扫描范围内，无等离子线。检验条件：100%激光功率照在抛光的单晶硅表面，曝光时间60秒，累加次数3次，X50或X100倍物镜，狭缝大小为正常实验状态。

1.1.8.计算机控制激光多级衰减片，>15级，以方便针对不同样品调整激光功率。

1.2 光谱仪

1.2.1.光谱仪设计：无像散，单级光谱仪，系统总通光效率大于30% 。

1.2.2.▲高灵敏度：硅三阶峰（约在1440 cm-1）的信噪比≥30:1，并能观察到四阶峰。检测条件：使用单晶硅片，波长532nm，激光到达样品功率10mW，狭缝宽度（或针孔）≤50微米，需使用≥1800线高分辨光栅，曝光时间100秒，累加次数3次（或曝光时间60秒，累加次数5次），CCD像元堆垛数等于1，显微镜头为x50或x100倍。

1.2.3.★光谱范围：200nm到1100nm，全光谱范围内可快速连续扫描，无接谱。其中：532nm激发波长，光谱范围：10-9000cm-1（VBG+Edge两组滤光片）；785nm激发波长，光谱范围：50-3500cm-1。

1.2.4.不同波长瑞利滤光片需自动切换，采用三点精确定位技术，转台需采用光栅尺反馈控制系统，确保精度和重复性。

1.2.5.▲光谱分辨率：≤0.9 cm-1。检验标准：使用氖灯作为信号源，≥1800线高分辨光栅，测试15620ABScm-1发光线，其半高全宽小于等于0.9 cm-1。

1.2.6.光栅使用1200（NIR）、2400（Vis）刻线/毫米高分辨率光栅，并能软件控制自动转换。并能实现光栅连续转动的全谱扫描方式，保证高分辨率下的无接谱。

1.2.7.★光谱重复性：≤ ±0.05cm-1。采用光栅尺反馈控制系统控制光栅的精确定位和重复性。检验标准：使用表面抛光的单晶硅做样品，采用50×物镜，≥1800刻线/毫米光栅，扫描范围100～4000cm-1，重复50次。观测硅的特征峰（520cm-1），520峰中心位置重复性≤±0.05cm-1。光栅不转动时（静态取谱）520峰中心位置重复性≤±0.02cm-1。

1.2.8.切换不同的激发波长可自动聚焦透镜组，保证每个透镜95%以上的光谱信号透过率。

1.2.9.▲ CCD探测器：应使用紫外和近红外同时增强深耗散层型CCD探测器，优质芯片，半导体制冷到-70ºC。为确保成像速度，最短积分时间0.001秒。

1.3  智能控制功能

1.3.1.★切换波长时，采用计算机控制全自动切换（包括激光器、滤光片、光栅等光学元件），无需任何手动操作。

1.3.2.自动准直激光到样品的激发光路、样品至探测器的光谱信号传递光路。

1.3.3.自动定期仪器状态校准、并自动调节准直光路，保证仪器最佳性能状态；厂家工程师在必要时可通过互联网实现远程自动调整及优化。

1.3.4.自动光谱信号强度校正功能：内置标准白光光源，软件自动校准信号光强度，消除不同波长信号的响应差异。

1.3.5.自动波长校准功能：内置标准氖灯光源，自动实现全光谱自动校准，保证光谱峰位准确度。

1.3.6.光谱信号采集模式与白光照明模式自动切换。

1.4 共焦技术

1.4.1.采用新型数字化针孔真共焦显微技术（数字化控制狭缝和CCD区域），以避免仪器的不稳定性和复杂的光路调整。

1.4.2.软件控制自动调整狭缝大小，在10-1000 um范围内连续可调。

1.4.3.▲空间分辨率：使用表面抛光的单晶硅，在x100倍镜头下，横向分辨率≤0.4微米，光轴方向纵向分辨率≤1.5微米，共焦深度连续可调。

1.5 共焦显微镜

1.5.1.▲高稳定性研究级进口徕卡原装显微镜。

1.5.2.10X原装目镜，5X、20X、100X、50X长焦物镜。

1.5.3.显微镜厂家原装透射和反射柯勒照明。

1.5.4.彩色摄像头，可安全观察激光光斑，可在计算机上显示存储图像。

1.6 计算机与打印机

1.6.1.性能好于Intel i7以上机型，8G RAM，500 GB 硬盘，CD-RW刻录机，100M网卡，27英寸液晶显示器， Windows 10 操作系统，可观察和存储显微镜下的白光像。Windows下光谱专业软件包－包括仪器控制、数据采集、计算和处理及曲线拟合等各项功能。彩色激光打印机。

1.7 数据库

1.7.1.具有Spectral ID谱库检索和建库功能，并提供无机矿物、有机物高分子数据库。

1.8 全套软件包

1.8.1.包含快速数据采集、处理等功能模块。内置扫描控制及数据处理软件，可方便快速地处理数据，并基于以下指标实时进行数据分析和成像：某一个光谱信号的强度，光谱信号特定范围强度的综合信息，成分含量分布信息高分辨图象。

1.8.2.远程控制调用功能，可用其他程序调用本软件实现采谱功能。

1.9附件

1.9.1.配置带光栅尺反馈控制系统的xyz三维自动平台，包括：

1.9.1.1.▲XYZ自动平台， 扫描范围：X ≥ 100 毫米 ，Y ≥ 70 毫米，Z ≥ 25 毫米。

1.9.1.2.最小步长为0.05微米。

1.9.1.3.带手动操作杆，可软件自动控制驱动。

1.9.1.4.可对样品测量部位自动定位并进行光谱成像，进行分散的多点、线、面扫描和共焦深度的扫描成像。

1.9.1.5.▲采用光栅尺反馈控制系统自动控制克服反向间隙，保证原始点的重复性。

1.9.1.6.用软件可连接摄像头采集图像，扩展了显微镜的视场，也可使自动平台的扫描区域扩大。

1.9.1.7.包括Z轴自动聚焦硬件及软件。

1.9.2.大面积（大体积）快速扫描成像附件

1.9.2.1.不同波长自动控制切换的点聚焦组件，和自动聚焦的信号收集透镜组。

1.9.2.2.多变量化学统计数据分析软件包。

1.9.2.3.▲基于先进CCD技术的超快速光谱成像，可达1000张谱图/秒。

1.9.2.4.能实现样品的三维实体（不同深度）光谱扫描成像（3D mapping）。

1.9.3.激光实时聚焦成像系统

1.9.3.1.在动态测量过程中保持聚焦，适合对粗糙的，凹凸不平的，弯曲的，和动态的样品的表面光谱成像。

1.9.3.2.★采用本源反射激光进行实时测距反馈，无需手动聚焦、白光预扫描或样品制备。测距与光谱测试同步进行。

1.9.3.3.在白光和光谱信号两种操作中都给对焦以连续的闭环反馈。

1.9.3.4.▲提供大范围聚焦行程，可覆盖整个自动平台扫描范围（不小于 100*70mm*25mm），不局限于物镜所观察到的区域。

1.9.3.5.3D表面成像的观察，且同时可见成分分布和海拔形貌图。

1.9.4.开放光路扫描臂：用于徕卡显微镜的灵活样品扫描臂，包括：

1.9.4.1. 2个90度转角光学连接件，可实现水平光路和垂直光路光谱测试。系统总通光效率>30% 。

1.9.4.2.可在扫描臂前固定平板，实现垂直样品对于外接光源的布里渊测试和拉曼扫描成像。

1.9.4.3.适用于较大样品或在较大原位池中（如电化学工作站）样品的测试。

1.9.4.4.★通过 XYZ自动平台控制灵活三维扫描臂精确移动，实现样品保持不移动的高精度原位光谱成像，扫描范围可达70*70*10mm3，移动精度≤0.1微米。

1.9.4.5.▲可兼容高空间分辨快速扫描光谱成像，及激光实时聚焦成像技术，适合表面不平整样品和动态样品的激光实时聚焦测试（自动聚焦响应速度≤1ms）及快速成像（最高可达1000张谱图/秒）。

1.9.5原位冷热台：

1.9.5.1.冷热台、温度控制器、液氮泵、液氮杜瓦瓶、连接电缆、连接软管、冷热台控制软件。

1.9.5.2.▲温度范围：-196到600℃。

1.9.5.3.全程温度精度和稳定性：0.01℃。

1.9.5.4.加热/冷冻速率：0.01-150℃/min。

1.9.5.5.气密样品腔室,可充入保护性气体。

1.9.5.6.独立温度控制。

1.9.5.7.利用支架直接安装在显微镜上。

1.9.6电化学原位池

1.9.6.1.三电极体系电化学池

1.9.6.2.聚四氟乙烯材质

1.9.6.3.可置于显微镜载物台上，适用于原位光谱测试

1.9.6.4.含透明石英窗片、密封圈等

1.9.7相关工作条件

1.9.7.1电源电压 220V， 环境温度 18-25℃，相对湿度≤ 50% 

2

高速测温光谱仪

2.1▲光谱范围：2-30μm；采用FTIR 分光计(Michelson型)，硅碳发热棒作为光源。

2.2光谱分辨率：可选1、 2、4、 8、 16、32、或 64cm-1。

2.3▲角度计：变角方式为自动，变角机构为θ-2θ独立机构，变角范围32-90o，转角准确性0.01°，转角重复性0.005°。

2.4▲样品台：垂直样品台，方便透射测量。

2.5可装载样品大小：样品最大尺寸不小于F150 mm，厚度不小于20 mm 。

2.6数据获取及分析软件：3份；软件设计人性化、算法合理、建模方法多样，数据库全，拟合效率高 。

2.7参数测量范围：Ψ（0~90°）；Δ（0～360o）；透射率；退偏振百分比；11个归一化的穆勒矩阵参数测量。

2.8▲补偿：使用后置的步进补偿技术，可对多个位置进行补偿，获得更准确的椭偏参量。

2.9▲测量准确性：在2-30μm光谱范围内，入射角为90o,测量空气时45°± 0.14°，0°± 0.6°。

2.10▲测量重复性：y：优于0.015°； D：优于0.08°（在波长2000cm-1上的30次测量空气的标准偏差）。

2.11设备供电电源：交流电，220V±10V，50Hz~60 Hz。

2.12控制计算机：CPU主频≥3GHz；硬盘≥500GB；内存≥2GB；21英寸液晶显示器；正版操作系统。

3

窄线宽激光器

▲3.1 光谱范围：覆盖350nm-1000nm，全光谱范围内可无切换连续扫描，无接谱。

▲3.2功率要求：全谱段输出总功率≥1W（单脉冲能量≥1mJ）。

▲3.3重频要求：重复频率1kHz。

▲3.4 能量调节：计算机控制能量变化，能量连续可调，不分档。

▲3.5 偏振要求：水平偏振。

3.6 光斑要求：配有激光扩束器，使激光尺寸连续可调，并连续改变样品上激光功率密度。

▲3.7 脉宽要求：脉冲宽度根据客户实际使用情形连续可调。

4

光路系统

▲4.1 输出波长：532nm可兼容至820nm波长。

▲4.2 输出功率：≥4W 。

▲4.3 功率稳定性：≤1% 。

▲4.4 输出脉宽：≤50fs 。

▲4.5 脉冲的产生、展宽压缩、放大必须采用模块化处理，分为几个子单元，方便组合使用和维护。

▲4.6 可调的光机械配件须为通过高低温测试的挠性机械件，不可调的采用硬连接，光学器件和机械调整架之间不可用胶粘。

▲4.7 放大模块配备低温制冷系统，增益介质须有腔体保护，不可直接暴露于空气中。

▲4.8 展宽压缩腔体入光、出光口须有JGS1级熔融石英窗口及开关光shutter，不可直接接触大气。