项目名称

基于激光光源的微区角分辨光电子能谱仪采购

采购预算（元）

15000000元

是否接受进口设备

是

序号

设备名称

数量

单位

1

基于激光光源的微区角分辨光电子能谱仪

1

套

序号

商务需求

1

交货期的要求： 签订合同并图纸确认后330天。

2

质保期：中标人提供制造商免费质保1年。

3

付款方式：合同生效并收到相应发票后支付合同总额的30%作为进度款；设备到达指定安装现场且安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的65%；余款5%待质保期满且无质量问题并经学校确认后支付。

序号

设备名称

技术参数或功能要求

数量

单位

备注

1

高性能超高真空系统

1.1该高性能超高真空系统为整个基于激光光源的微区角分辨光电子能谱仪提供必要的真空条件，是一个完整、可靠的设备，系统提供商应有具有专业的技术和经验

1

套

无

1.2系统主体采用多腔平行设计

1.3真空系统：配有吸附泵，离子泵，钛升华泵，分子泵，无油前级泵等泵组，超高真空阀门，镀铱双灯丝真空规，本底真空度优于110-10mbar。

1.4提供完整的支撑系统，真空维持系统，烘烤系统以及相关的自动反馈。

1.5提供可扩展接口，保证后续的升级

1.6提供相关的控制软件；

2

角分辨电子能量分析仪

2.1能量分辨率：≤1.5 meV。

1

套

2.2测量电子能量范围：0–1500 eV。

2.3有多个角分辨模式，极限角分辨率：＜0.1°

2.4角分辨模式下，同时探测范围 ≥36°

2.5完备的计算机控制、数据采集和仪器间通讯软件及硬件。

2.6信号探测采用数字化2维探测器，MCP有效探测范围≥40mm。

2.7同时具有固定、扫描、角分辨和面扫描模式（3D费米面）

2.8提供基于IGOR数据处理软件的ARPES分析软件模块和后续更新。并培训2周。

2.9分析仪控制器具有开放的接口，便于后续实验室自研软件，对其自动化控制。

2.10工作距离为35mm

3

主分析腔模块

3.1采用Mu金属或不锈钢腔体加Mu金属内衬制成

1

套

3.2剩余磁场：<10 mGauss。

3.3该模块需要采用减震模块，已达到降低整个系统的振动

3.4该模块具有完整的真空系统，其背底真空好于510-11 mbar

4

五轴低温样品台

4.1样品台自由度：X,Y,Z,Phi,Tilt，也可以根据系统要求定制。

1

套

4.2 XYZ精度：好于1μm

4.3 XY位移范围：±12.5mm；Z的位移范围根据实际需求定制。

4.4样品台稳定性：好于1μm

4.5样品温度：7K-400K

4.6 温度飘移：XY≤0.1mm; Z≤0.5mm

4.7制冷方式 ：液氦制冷

5

制备腔模块

5.1采用客户定制形式；

1

套

5.2样品台：最高加热温度1500°C

5.3配备超高真空泵组和真空规，背底真空度：好于110-9 mbar

5.4根据需求配备：配备RHEED或者LEED模块

5.5配备氩离子刻蚀系统

6

快速进样腔模块

6.1该模块具有独立的真空泵组系统和真空规。

1

套

6.2好于110-8 mbar

6.3具备多样品储存功能

7

对接模块

该系统具备和传样系统的对接模块，根据实际需求设计。

1

套

8

微米级光斑激光器模块

8.1激光能量分辨率:好于0.5 meV

1

套

8.2激光偏振:线性和圆偏振

8.3激光重频>50 MHz

8.4激光通量> 11013ph/s

8.5微米级光斑时通量> 51012ph/s

8.6激光光斑大小：≤ 30

8.7激光能量为7eV。