项目名称

超高真空变温扫描隧道显微镜采购项目

采购预算（元）

5,840,000

是否接受进口设备

是

序号

设备名称

数量

单位

1

超高真空变温扫描隧道显微镜

1

套

序号

商务需求

1

交货期的要求： 签订合同后330天内

2

质保期： 1年

3

付款方式： 合同生效并收到相应发票后支付合同总额的30%作为进度款；设备到达指定安装现场且安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的65%；余款5%待质保期满12个月后且无质量问题并经学校确认后支付。

序号

设备名称

技术参数或功能要求

1

超高真空变温扫描隧道显微镜

1. 扫描隧道显微镜：

▲1.1可实现50K - 500K范围内的样品温度调节，其中50K通过LHe连续流制冷实现，500K通过辐射加热实现

1.2断开制冷模块，样品台可加热至650℃

1.3. 具有扫描隧道显微镜功能，隧穿电流范围：< 1pA 至 330 nA

★1.4.最大扫描范围(x/y.z)不小于：12 μm x 12 μm x 1.5 μm

★1.5.三维独立粗定位马达，移动范围(x/y/z)不小于: 5 mm x 10 mm x 10 mm

▲1.6.扫描台包含四个接触电极，可用于输运实验等功能

▲1.7.扫描台采用样品面朝下设计，以利于原位蒸镀及光学实验

▲1.8.配置针尖预处理装置，可通过电子束加热处理针尖

▲1.9.配置长焦光学显微镜，在样品表面可实现分辨率不小于10μm

2. 超高真空系统

▲2.1.超高真空系统由STM腔、H-cleaning腔、沉积腔、样品加热腔、快速进样腔组成

2.2. STM腔配置满足以下要求：

2.2.1.配置离子泵（不小于150 l/s）,钛升华泵，离子规

2.2.2.包含不少于12个样品/针尖存储位

2.2.3.包含必要的法兰口，可用于光学通路、蒸发源或进气

2.3.H-cleaning 腔满足以下要求：

2.3.1.配置离子泵（抽速不小于300 l/s）,钛升华泵，涡轮分子泵（抽速度不小于260 l/s）和前级无油机械泵

2.3.2.配置加热器，可辐射或直接通电流加热样品，辐射加热可达1100℃

2.3.3.配置氢原子束流源，包含全套电源和控温系统

2.4. 快速进样腔满足以下要求：

2.4.1.配置涡轮分子泵（抽速不小于67  l/s）

2.4.2.配置宽量程规（1e-8 mbar至atm）

2.4.3.使用磁力传输臂，一次可进样不少于5个旗型样品托

2.5.样品加热腔满足以下要求：

2.5.1. 配置离子泵（抽速不小于75 l/s）和离子规

2.5.2.配置加热器，可辐射或直接通电流加热样品，辐射加热可达1100℃

2.6.沉积腔满足以下要求：

2.6.1.沉积腔为内径不小于250 mm的圆柱形腔体

2.6.2.沉积腔包含不小于4个蒸发源法兰口，和其他必要的法兰接口

2.6.3. 沉积腔配置离子泵（抽速不小于300 l/s）、钛升华泵、涡轮分子泵（抽速不小于260 l/s）及前级无油机械泵

2.6.4. 沉积腔配置四维操纵台

2.6.4.1. X/Y移动范围不小于±12.5 mm，z方向移动距离满足实验需求，可±180°转动

▲2.6.4.2. 包含辐射高温加热模块，可辐射加热样品至1400℃

2.6.4.3.可直接通电流加热样品

2.7.包含程序控制的全套烘烤系统