项目名称

超高真空低温扫描隧道显微镜采购项目

采购预算（元）

7,600,000

是否接受进口设备

是

序号

设备名称

数量

单位

1

低温扫描隧道显微镜

1

套

序号

商务需求

1

交货期的要求：签订合同后330天内

2

质保期： 1年

3

付款方式： 合同生效并收到相应发票后支付合同总额的30%作为进度款；设备到达指定安装现场且安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的65%；余款5%待质保期满12个月后且无质量问题并经学校确认后支付。

序号

设备名称

技术参数或功能要求

1

低温扫描隧道显微镜

1. 扫描头

★1.1扫描头采用三维独立的粗定位系统，其中水平粗定位为样品移动，垂直粗定位为针尖移动

★1.2扫描头粗调移动范围：水平不小于4mm*4mm；垂直不小于 10mm

★1.3扫描头扫描范围XYZ不小于：10um * 10um * 1.5um @ T=300K，1.8um *1.8um * 0.2um @ T=10K

▲1.4.扫描头采用样品面朝下设计，有利于光学和原位蒸镀实验

1.5. 扫描头样品台兼容标准flag style样品托

1.6. 针尖和样品可独立更换，且有针尖更换特殊保护装置

1.7.  在更换针尖需样品在扫描台上的前提下，可兼容样品高度最大为3mm；如更换针尖时无需保留样品，可兼容样品高度最大为6mm

1.8. 针尖或样品可接地，偏置电压电极为BNC接头

1.9. 扫描头含内置电阻加热装备，提供含反馈功能的电源，实现样品区域温度<10K-150K连续变化（针尖与样品温度一致）的功能

▲1.10. 扫描头样品台可提供不少于10个接触电极，用于样品电学测量和样品变温加热

1.11. 扫描头的稳定性：关闭反馈，峰峰值(z方向上)小于2pm

1.12. 扫描头的性能指标：STM 模式：低于10K，Au(111)或 Si(111) 7x7 表面原子像

1.13. 震动隔离: STM扫描头采用悬挂弹簧并有涡流阻尼的震动隔离系统，以实现对STM扫描头的最优化机械隔离

2.低温制冷系统

2.1制冷系统与STM扫描系统之间必须进行双腔体式有效隔离，且制冷系统开启的情况下，声学噪音小于50dB

2.2样品最低温度：< 10 K

2.3无液氦消耗，工作时扫描头温度达到或低于10 K

2.4双层热辐射隔离屏，隔离热辐射

2.5样品台上带有完整的配套控温系统

2.6冷头可在保持扫描头10K温度下长时间不间断稳定工作至少20000小时，压缩机至少可持续工作30000小时

3. 超高真空系统

▲3.1超高真空系统由STM腔、H-cleaning腔、沉积腔、样品加热腔、快速进样腔组成

3.2  STM腔配置满足以下要求：

3.2.1配置离子泵（不小于75 l/s）,钛升华泵，离子规和皮拉尼规

▲3.2.2可存放不少于15个样品和10个针尖

3.2.3包含必要的法兰口，可用于光学通路、蒸发源或进气

3.3.  H-cleaning 腔满足以下要求：

3.3.1. 配置离子泵（抽速不小于150 l/s）,钛升华泵、涡轮分子泵（抽速度不小于260 l/s）和前级无油机械泵

3.3.2. 配置加热器，可辐射或直接通电流加热样品，辐射加热可达1100℃

3.3.3. 配置氢原子束流源，包含全套电源和控温系统

3.4.  快速进样腔满足以下要求：

3.4.1. 配置涡轮分子泵（抽速不小于67  l/s）

3.4.2. 配置宽量程规（1e-8 mbar至atm）

3.5.  样品加热腔满足以下要求：

3.5.1. 配置离子泵（抽速不小于75 l/s）和离子规

3.5.2. 配置加热器，可辐射或直接通电流加热样品，辐射加热可达1100℃

3.6.  沉积腔满足以下要求：

3.6.1. 沉积腔为内径不小于250 mm的圆柱形腔体

3.6.2. 沉积腔包含不小于4个蒸发源法兰口，和其他必要的法兰接口

3.6.3. 沉积腔配置离子泵（抽速不小于300 l/s）、钛升华泵、涡轮分子泵（抽速不小于260 l/s）及前级无油机械泵

3.6.4. 沉积腔配置四维操纵台，

3.6.4.1.  X/Y移动范围不小于±12.5 mm，z方向移动距离满足实验需求，可±180°转动

▲3.6.4.2. 包含辐射高温加热模块，可辐射加热样品至1400℃

3.6.4.3.可直接通电流加热样品

3.7包含程序控制的全套烘烤系统