项目名称

原位扫描X射线光电子能谱微探针系统

采购预算（元）

6100000

是否接受进口设备

是

序号

设备名称

数量

单位

1

原位扫描X射线光电子能谱微探针系统

1

套

序号

设备名称

数量

单位

1

真空系统：包括真空腔室和真空泵系统

1

套

2

单色化X射线源系统包括阳极靶、电子枪和单色器

1

套

3

光电子探测器

1

套

4

能量分析器和能量传输透镜

1

套

5

样品观察系统

1

套

6

Ar单原子离子枪

1

套

7

双束荷电中和系统

1

套

8

Ar团簇离子枪

1

套

9

紫外光电子能谱（UPS）

1

套

10

低能反光电子能谱（LEIPS）

1

套

11

SAM 扫描俄歇能谱电子枪

1

套

12

4-电接触点冷/热样品台

1

套

13

样品传送管

2

套

14

大进样腔室

1

套

15

仪器能谱仪控制和数据处理系统

1

套

16

配套及辅助设施

1

套

17

标准工具包、标准样品、备品备件耗材包和资料等

1

套

序号

商务需求

1

交货期的要求： 签订合同后180天内

2

质保期： 三年

3

付款方式：合同生效并收到相应发票后支付合同总额的30%作为进度款；设备到达指定安装现场且安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的65%；其余5%作为质保金待仪器运行满一年后支付。

序号

设备名称

技术参数或功能要求

1

真空系统：包括真空腔室和真空泵系统

1.1真空系统包括进样腔室、分析腔室、以及对应的真空抽气系统；

1.2分析室真空系统: 分析室采用独立的分子泵和钛升华泵组合；

1.3分析腔室最佳真空度≤7.0x10-8 Pa；

1.4 Mu金属分析腔体；

1.5 进样腔室配有真空规，可测量大气压到10-6 Pa之间的真空度；

2

单色化X射线源系统包括阳极靶、电子枪和单色器

2.1 Al Kα单色化X射线源，X射线源可聚焦及扫描；

▲2.2 可利用扫描X-射线激发的二次电子获取样品的表面形貌（SXI像），用于对分析点无误差定位分析；

2.3激发X射线源电子枪为LaB6电子枪；

▲2.4最小获谱束斑：在无光阑遮挡的情况下，最小获谱束斑≤10µm，且X-射线功率不高于3W，X射线束斑直径在10μm ~400μm之间连续可调；

2.5 X射线分析面积：不小于直径Ø10μm ~1000μm的区域；

2.6单色器：单块整体椭圆石英晶体，无需水冷以避免温度影响Ｘ射线稳定性从而也影响分析结果，保证了射线源的稳定可靠；

2.7功率：聚焦情形下，X-射线功率从1W到100W连续可调，以避免高功率破坏阳极靶和样品；

2.8不少于19个点阳极靶设计，真空马达自动更换阳极靶位置；

3

光电子探测器

3.1采用多通道MCP探测器，通道数不小于128通道；

3.2 采用同一套探测器完成SXI二次电子成像、采谱分析及化学态成像等分析；

4

能量分析器和能量传输透镜

4.1 采用180°半球型能量分析器；

4.2 平均半径≥150 mm；

1. 采用静电传输透镜；

4.4 传输透镜前端设置机械光阑可得到+/- 5°透镜接收角，用于精准的变角XPS分析；

4.5大束斑能量分辨率和灵敏度：对Ag3d5/2峰能量分辨≤1.0eV时，光源功率不大于100W条件下，计数率强度高于2Mcps；

▲4.6 微区分析（≤10 μm）能量分辨率和灵敏度：对银标准样品，谱峰Ag3d5/2能量分辨≤0.60eV时，计数率强度高于10Kcps, 分析功率不高于3W；

▲4.7微区分析（≤20 μm）能量分辨率和灵敏度：对银标准样品，谱峰Ag3d5/2能量分辨≤0.60eV时，计数率强度高于35Kcps,分析功率不高于5W；

4.8 验收能量分辨率：对银标准样品，谱峰Ag3d5/2的半峰宽（FWHM）≤0.50eV；

4.9 能够执行点分析、线扫描、面分析、化学态成像、深度剖析、角分辨XPS；

4.10化学态成像模式：扫描X射线成像模式；每个像素点都有对应的图谱；

5

样品观察系统

5.1配置进样室相机，可对进样室的样品进行光学数字成像，用于对样品进行导航定位；

5.2样品观察及分析选点定位：彩色CCD摄像机成像、X射线二次电子成像（SXI），可直接在导航图上选取分析点，也可在SXI影像上选取多点分析；SXI可对分析点无误差定位；

5.3采用防X射线观察窗，有2个水平观察窗；

6

Ar单原子离子枪

6.1可执行样品中和、清洁和深度剖析三种功能；

6.2 最大束流：≥5µA；

▲6.3 离子能量范围不少于100eV~5000eV，且连续可调；

▲离子源溅射分析时， 分析腔室真空度：≤ 8X10-6Pa；

7

双束荷电中和系统

7.1采用低能准直电子束与低能准直离子束进行荷电中和，且电子束和离子束能够独立调节，中和条件能自动匹配，适用于所有不导电样品及粗糙表面的精准荷电中和；

7.2中和效果：用聚酯材料PET采谱，其中碳谱中的化学酯键(O-C=O)中C1s的半峰宽（FWHM） ≤0.85eV；

8

Ar团簇离子枪

▲8.1 Ar团簇离子枪能量范围不少于5kV~20kV；

▲8.2最大束流：在20 kV能量下，离子束流 >40 nA；

8.3最小束斑: 在20 kV能量下，最小束斑≤500μm；

9

紫外光电子能谱（UPS）

9.1主要提供价带谱和功函数的测试；

9.2 可获得He（I）和He（II）紫外光源；

9.3 完全由计算机控制，可自动灯点火和气体输送；

▲9.4 光源直径：≤0.8mm, 可以进行UPS深度剖析；

9.5灵敏度和能量分辨率：当能量分辨率≤110 meV时，He I 灵敏度@ Ag 4d ≥ 1 Mcps；

9.6 配有UV源滤光器可用于过滤 UV 光，适用敏感有机样品，使灯的强度降低到≤3%；

10

低能反光电子能谱（LEIPS）

10.1主要应用：导带谱、LUMO，结合UPS可以得到能带宽等完整信息；

▲10.2电子能量: ≤5eV, 较低的电压减少对有机样品的损伤；

10.3探测器由光学透镜、近紫外带通滤波器和光电倍增器组成；

▲10.4包括多个光学滤光器 254 nm + 300 nm (4.88 eV) ，260 nm (4.79 eV)和280nm(4.4eV)、285nm (4.38eV)、355nm(3.71 eV)。过滤器在真空腔室之外, 方便调节；

▲10.5 能量分辨率：≤0.45 eV （标准银样品）；

▲10.6 原位设计，与UPS安装在同一分析腔室，保证在同一环境，同一样品中心进行分析。

11

SAM 扫描俄歇能谱电子枪

11.1主要应用：高分辨二次电子成像，材料表面元素成分分析, 俄歇线扫描，面分布，俄歇深度剖析和REELS分析等；

11.2空间分辨率：≤150nm；

▲11.3俄歇元素灵敏度：Cu LMM俄歇N（E）峰 ≥ 1.0 Mcps（铜标准品）；

11.4能量分辨率：≤ 3 eV @0.1% FRR mode（乾净的氧化硅表面上的Si 信号）；

▲11.5俄歇信噪比：≥ 800:1（铜标准品）；

11.6可在FAT或FRR模式下采集REELS图谱；

11.7 REELS灵敏度和能量分辨率：≤ 0.5 eV @ FAT mode，≥ 10,000,000/nA @ FAT mode；

12

1. 电接触点冷/热样品台

1. 全自动五轴样品台：可实现X、Y、Z 方向的移动,倾斜和旋转的五轴；

1. X方向的行程不小于0~50mm， Y方向的行程不小于0~50mm，Z方向的行程不小于0~20 mm；

1. 常中心旋转角度范围不小于+/-170º；

1. 倾斜角度范围不小于0°~90°；可实现AR-XPS变角分析功能，角度分辨≤±1º；

12.5 温度范围： -120 ºC~ 500 ºC；

1. 加热装置和热电偶集成在样品托里可提高可靠性和温度控制；

1. 4-电触点样品托用于原位电池材料测试；

12.7样品台可正常移动包括常中心Zalar旋转和常中心倾斜；

▲12.8可通过4个电触点去测试样品的电阻或给样品通电流或电压

13

样品传送管

13.1可在真空或惰性气体环境下从其它设备或手套箱中转移样品到仪器分析腔室里进行分析，保护样品表面在分析前不受环境，空气和氧气的影响；

14

大进样腔室

14.1带有两个进样口，一个用来安装样品传送管用于样品保护和停放，一个用来常规进样。

15

仪器能谱仪控制和数据处理系统

15.1配置：基于Windows系统的计算机控制所有需要的硬件、分析过程、数据信息及数据输出。其中包括：高级多重驱动、彩色宽屏LCD显示器和输出终端；

15.2软件界面：可满足XPS全分析能力，包括：全谱扫描、高分辨多点分析、溅射深度剖析、线扫描、化学成像、自动分析以及用户自定义设定。软件支持全自动化操作；

15.3系统可远程控制；

15.4数据处理软件：附带数据库，支持后分析数据处理算法，包括：原子百分比定量、去背底、平滑、谱峰识别、最小二乘线性拟合、目标因子分析、曲线和峰位分析及多种化学态拟合成像、线扫描和深度剖析；

15.5可将原始数据和分析结果转换为ASCII，CSV，PDF，TIFF等多种通用格式；

15.6数据库: 配备光电子能谱数据库和俄歇电子能谱标准数据库，终身免费软件升级；

16

配套及辅助设施

16.1中标人提供设备运行所需要的所有附属设施包括烘烤加热器、电气控制柜、X射线循环水冷系统、空压机、气瓶气路等；

17

标准工具包、标准样品、备品备件耗材包和资料等

17.1提供XPS标准工具包1套,标准样品1套；

17.2 提供备品备件耗材包并列出详细清单，必须满足质保期内使用要求；

17.3提供XPS标准谱图手册1套；

17.4设备操作手册、维护和安全使用手册等资料；